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CL120型单晶炉
CL120型单晶炉
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CL120型单晶炉
详细信息
产品详细描述:产品应用可用范围:CL-120型单晶炉提供两对电极孔,可分别用于18寸、20寸或22寸的热统,*大投料量达120kg,生成的晶体范围:可生长6″,8″或10″的单晶体  CL系列单晶炉,属软轴提拉型,是用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。此设备结构设计稳定,运行平稳,且有多项安全防护设施,氩气质量流量及温度控制精确,整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器(PCC)控制,并可实现全自动(CCD)控制,包括抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等径生长和尾锥生长。CL120特色l 新型提拉头的结构设计对于晶体摆动及对中的有效控制。l 双测取光口、双电极中心距设计,兼容各种不同高度的热场。l 调整主炉室提升油缸的位置,为以后的磁场拉晶预留空间。l 电极、坩埚杆、阀板高温区管路 配置水流量计,实时流量监视及流量设定,低于设定值时自动报警。l 扶绳机构的设计,重锤快速下降时可迅速稳定籽晶,减少了拉晶准备时间。l 手动埚升装置的设计,单晶炉在运行中紧急停电时,提供快速便捷的操作。l 可为客户提供热系统运行时悬挂导流筒的机构方案,增加投料量,提高单炉产量,降低运行成本,节约能源。l 预留全套兼容接口,便于无缝升级。 
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